* *

?

+7 (495) 849-29-70
+7 (495) 849-29-70
10-18 -

. .
1 000 .

: Premix, Buffer

– , . , , , , . , , , , , , . . .


COMPexPro 102, COMPexPro110

XeCl

308

HCl + H2 + He + Xe + Ne

COMPexPro 201, COMPexPro 205

HCl + H2 + He + Xe + Ne

COMPexPro 102, COMPexPro110

KrF

248

F2 + He + Kr + Ne

COMPexPro 201, COMPexPro 205

F2 + He + Kr + Ne

BraggStar M

F2 + He + Kr + Ne

COMPexPro 102, COMPexPro 110

ArF

193

F2 + Ar + Ne + He

COMPexPro 201, COMPexPro 205

F2 + He + Ar + Ne

COMPexPro F2

F2

157

F2 + He

COMPexPro 102, COMPexPro110

XeF

351

F2 + He + Xe + Ne

COMPexPro 201, COMPexPro 205

F2 + Xe + Ne + He

NIDEK

ArF

193

Ar + Ne + He (NIDEK BUFER)

F2 + He (NIDEK FLOURINE)

F2 + Ar + He + Ne (NIDEK PREMIX)

SCHWIND AMARIS

ArF

193

F2 + He + Ar + Ne (SCHWIND)

STAR S4 IR®

ArF

193

F2 + He + Ar + Ne (VISX PREMIX)

He (VISX HELIUM)

WaveLight Allegretto Wave Eye-Q

ArF

193

F2 + He + Ar + Ne

, - (OOO "")

ArF

193

F2 + Ar + Ne

CL 5100, 5200, 5300 (OOO "")

FKr

248

F2 + He + Kr + Ne

-308

XeCl

308

HCl + Xe + Ne

, ,

ArF

193

1% F2 + 3,5% Ar + Ne

XeCl

308

10 ppm Xe + 3,5% Ar + Ne

HCl + H2 + Ne

KrF

248

1% F2 + 1,25% Kr + Ne

1,25% Kr + Ne

CL7100 (OOO "")KrF248 F2 + He + Kr + Ne
Technolas (Bausch & Lomb)ArF193 F2 + He + Ar + Ne
CL7000 (OOO "")ArF193 F2 + He + Ne + Ar + Xe (CL7000 PREMIX)
Cymer KrF248F2 + Ne + Kr (Cymer PREMIX)
ArF193 F2 +Ne + Ar + Xe (ARF1, ARF2)
EX5 eximer laser (GAM LASER Inc.)ArF193 F2 + Ne + Ar + O2
MEL 80 Excimer Laser (Carl Zeiss)ArF193 F2 + Ne + Ar (Carl Zeiss MEDITEC ARF PREMIX C)


,

He

99,9999%

Ne

99,9995%

Ar

99,9999%

Kr

99,9999%

Xe

99,99995%

: , , , .


, ( ) . , .

, . .

CAS

1956

( 2015)

2.2

 ( ): ; : ;  "2"    ( ): ; : ;  "2"


(NS), , (QTS), (SS).

, 3

⌀D×H,

,

10

⌀14×82

14

16

⌀18×78

20

20

⌀20,5×81

25

40

⌀22×128

39

50

⌀23,5×147

57

100 150 .

.

, . DIN 14, DIN 8. .


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