|
|
: Sulfur hexafluoride,
. SF6 (, ), .
|
3.0
|
5.0
|
,
|
99,9 %
|
99,999%
|
:
|
, , ()
|
< 0,05 %
|
-
|
|
< 0,05 %
|
-
|
, %,
|
< 0,0015 %
|
-
|
|
< 0,00003 %
|
-
|
|
< 0,0001 %
|
-
|
O2 + Ar
|
-
|
< 2 ppm
|
N2
|
-
|
< 3 ppm
|
CO
|
-
|
< 0,5 ppm
|
CO2
|
-
|
< 0,5 ppm
|
CF4
|
-
|
< 0,5 ppm
|
H2O
|
-
|
< 2 ppm
|
HF
|
-
|
< 0,1 ppm
|
|
-
|
< 0,1 ppm
|
/
|
6-02-1249-83
|
|
|
, , .
|
|
146,06 /
|
CAS
|
2551-62-4
|
20°
|
20,5
|
|
UN1080
|
|
- 63,8
|
|
23
|
|
- 50,8
|
( 2015)
|
2.2
|
|
45,6 C
|
|
|
|
3,76
|
– 40- (~56 ). .
|
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