|
|
|
ПРИМЕНЕНИЕ:
Газовые смеси фосфина (PH3) с силаном (SiH4), а также газовые смеси фосфина (PH3) с гелиемприменяют в производстве полупроводниковых материалов
|
МАРКА
|
Фосфин с силаном
(ТУ 95120-93)
|
Фосфин с гелием
(ТУ 6-02-1-412-80)
|
|
2
|
3
|
|
Объемная доля фосфина, %*
|
50±5
|
20±2
|
50±3
|
|
Показатели качествакомпонентов стандартных смесей*
|
Фосфин
|
Силан
|
Гелий
|
|
Основное вещество
|
99,9998 %
|
99,999 %
|
99,995%
|
|
Аргон
|
< 0,5 ppm
|
|
|
|
Кислород
|
< 0,1 ppm
|
Ar+O2 < 0,1 ppm
|
Ar+O2 < 1 ppm
|
|
Азот
|
< 1 ppm
|
< 2 ppm
|
< 5 ppm
|
|
Вода
|
< 1 ppm
|
< 0,1 ppm
|
< 5 ppm
|
|
Метан
|
< 0,1 ppm
|
< 1 ppm
|
< 1 ppm
|
|
Этан
|
< 0,1 ppm
|
|
|
|
Пропан
|
< 0,1 ppm
|
|
|
|
Углеводороды
|
|
C2-C4 < 1 ppm
|
< 1 ppm
|
|
Диоксид углерода
|
< 0,1 ppm
|
< 0,1 ppm
|
CO+CO2 < 2 ppm
|
|
Оксид углерода
|
< 0,1 ppm
|
< 0,1 ppm
|
|
|
Водород
|
|
< 10 ppm
|
< 1 ppm
|
|
Хлорсиланы
|
|
< 1 ppm
|
|
|
Арсин
|
< 0,1 ppm
|
|
Аргон
|
|
Металлы
|
< 0,1 ppb
|
< 1 ppb
|
|
* Возможно использование компонентов иной чистоты, а также иная объемная доля фосфина по индивидуальному заказу
|
Общая характеристика
|
Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный
|
|
|
фосфин
|
силан
|
гелий
|
|
|
|
Молекулярная масса
|
34 г/моль
|
32 г/моль
|
4 г/моль
|
№ ООН
|
1953/2199
|
|
Температура кипения
|
- 87,4 °C
|
- 111,9 °C
|
- 269 °C
|
КЭМ
|
15 ДЭ
|
|
Температура плавления
|
- 132,5 °C
|
- 185 °C
|
|
Класс опасности груза (по ГОСТу 19433-88)
|
2.4
|
|
Критическая температура
|
51,3 °C
|
- 3 °C
|
-267,95 °C
|
Знаки опасности
|
|
|
Критическое давление
|
6,54 МПа
|
4,28 МПа
|
0,23 МПа
|
УПАКОВКА:
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон
(2м - смеси с гелием, 2,2 кг – смесь 50% с силаном)
Возможно наполнение баллонов другого объема.
ТРАНСПОРТИРОВКА:
В соответствии с Правилами перевозки опасных грузов, а также с Правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением
Назад в раздел
|
|
