|
|
|
ПРИМЕНЕНИЕ:
Газовые смеси фосфина (PH3) с водородомприменяют в производстве полупроводниковых материалов
|
МАРКА
|
1
|
2
|
3
|
|
Сорт 1
|
Сорт 2
|
|
Объемная доля фосфина, %
|
10±1
|
10±1
|
0,24-0,16
|
0,005-0,001
|
|
Примеси*
|
|
Углеводороды в пересчете на метан, не более
|
1 ppm
|
5 ppm
|
1 ppm
|
1 ppm
|
|
Кислород и аргон, не более
|
50 ppm
|
100 ppm
|
50 ppm
|
50 ppm
|
|
Азот, не более
|
0,05 %
|
0,5%
|
50 ppm
|
50 ppm
|
|
Диоксид углерода, не более
|
30 ppm
|
50 ppm
|
30 ppm
|
30 ppm
|
|
Показатели качества компонентов стандартных смесей
|
Фосфин
|
Водород*
|
|
Основное вещество
|
99,9998 %
|
99,9999%
|
|
Аргон
|
< 0,5 ppm
|
Ar/O2 < 0,2 ppm
|
|
Кислород
|
< 0,1 ppm
|
|
|
Азот
|
< 1 ppm
|
< 0,5 ppm
|
|
Вода
|
< 1 ppm
|
< 2 ppm
|
|
Метан
|
< 0,1 ppm
|
< 0,3 ppm
|
|
Этан
|
< 0,1 ppm
|
|
|
Пропан
|
< 0,1 ppm
|
|
|
Диоксид углерода
|
< 0,1 ppm
|
|
|
Оксид углерода
|
< 0,1 ppm
|
|
|
Водород
|
|
|
|
Арсин
|
< 0,1 ppm
|
Аргон
|
|
Металлы
|
< 0,1 ppb
|
|
* Возможно использование водорода иной чистоты
Продукция соответствует ТУ 2114-004-16422443-2000 изм.1
|
Общая характеристика
|
Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный
|
|
|
фосфин
|
водород
|
|
|
|
Молекулярная масса
|
34 г/моль
|
2 г/моль
|
№ ООН
|
1953/2199
|
|
Температура кипения
|
- 87,4 °C
|
- 273 °C
|
КЭМ
|
15 ДЭ
|
|
Температура плавления
|
- 132,5 °C
|
- 259 °C
|
Класс опасности груза (по ГОСТу 19433-88)
|
2.4
|
|
Критическая температура
|
51,3 °C
|
- 240 °C
|
Знаки опасности
|
 
|
|
Критическое давление
|
6,54 МПа
|
1,29 МПа
|
УПАКОВКА:
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (2м?)
Возможно наполнение баллонов другого объема.
ТРАНСПОРТИРОВКА:
В соответствии с Правилами перевозки опасных грузов, а также с Правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением
Назад в раздел
|
|
