ГАЗОВЫЕ СМЕСИ МОНОСИЛАНА С АРГОНОМ, ВОДОРОДОМ

Объемная доля моносилана

5±0,5%

10±0,5%

25±1%

Основное вещество

>99,99 %

>99,999 %

>99,9999 %

>99,99999 %

>99,998 %

>99,999 %

Кислород

O2+Ar
< 1 ppm

O2+Ar
< 0,1 ppm

O2+Ar
0,2 ppm

O2+Ar
20 ppb

2 ppm

2 ppm

Азот

< 5 ppm

< 2 ppm

0,5 ppm

50 ppb

10 ppm

3 ppm

Вода

-

< 0,1 ppm

2 ppm

0,2 ppm

3 ppm

3 ppm

Метан

< 1 ppm

< 0,1 ppm

0,3 ppm

30 ppb

1 ppm

0,5 ppm

Диоксид углерода

< 1 ppm

< 0,1 ppm

-

-

0,2 ppm

0,2 ppm

Водород

< 50 ppm

< 10 ppm

-

-

2 ppm

2 ppm

Оксид углерода

< 1 ppm

< 0,1 ppm

-

-

-

-

Хлорсиланы

< 10 ppm

< 1 ppm

-

-

-

-

Углеводороды C2-C4

< 1 ppm

< 1 ppm

-

-

-

-

Металлы

< 1 ppb

< 1 ppb

-

-

-

-

Общая характеристика

Газовые смеси силана представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный

силан

аргон

водород

Молекулярная масса

32 г/моль

40 г/моль

2 г/моль

№ ООН

UN1954

Температура кипения

- 111,9 °C

- 185,9 °C

- 273 °C

КЭМ

234 К

Температура плавления

- 185 °C

- 189,6 °C

- 259 °C

Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015)

2.1

Критическая температура

- 3 °C

-122,5 °C

- 240 °C

Знаки опасности