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: Hydrogen,
, , , , CVD-.
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6.0
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,
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99,99999 %
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99,9999 %
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99,9999%
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|
:
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/
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< 0,02 ppm
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< 0,2 ppm
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< 0,2 ppm
|
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< 0,05 ppm
|
< 0,5 ppm
|
< 0,2 ppm
|
|
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< 0,03 ppm
|
< 0,3 ppm
|
-
|
|
|
< 0,2 ppm
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< 2 ppm
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< 1 ppm
|
|
|
-
|
-
|
< 0,02 ppm
|
|
CO
|
-
|
-
|
< 0,1 ppm
|
|
CO2
|
-
|
-
|
< 0,02 ppm
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|
/
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2118-06-181136415-06
|
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|
, , ( .. )
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2 /
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CAS
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1333-74-0
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1049
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- 273 °C
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|
23
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- 259 C
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( 19433-88)
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2.1
|
|
|
- 240 C
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1,29
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– 40- (~5,7 2). .
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