СИЛАН (МОНОСИЛАН)

Содержание основного вещества, не менее

99,994 %

99,999 %

99,9995%

Водород

< 50 ppm

< 10 ppm

< 1 ppm

Кислород + Аргон

< 2 ppm

< 1 ppm

< 1 ppm

Азот

< 5 ppm

< 5 ppm

< 1 ppm

Диоксид углерода

< 1 ppm

< 0,1 ppm

< 0,1 ppm

Оксид углерода

< 1 ppm

< 0,1 ppm

< 0,1 ppm

Метан

< 1 ppm

< 1 ppm

< 0,1 ppm

Углеводороды C2-C4

< 1 ppm

< 1 ppm

< 1 ppm

Вода

-

< 0,1 ppm

< 0,1 ppm

Хлорсиланы

< 10 ppm

< 1 ppm

< 1 ppm

Металлы

< 1 ppb

< 1 ppb

< 1 ppb

Удельное электрическое сопротивление
(n-тип электропроводности)

> 1000 Ом·см

> 1000 Ом·см

> 1000 Ом·см

Общая характеристика

Бесцветный, взрыво- и пожароопасный (самовоспламеняется на воздухе), токсичный, газ с резким специфическим запахом.

Молекулярная масса

32,12 г/моль

CAS №

7803-62-5

№ ООН

UN2203

Температура кипения

- 111,9 °C

КЭМ

234

Температура плавления

- 185 °C

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.1

Критическая температура

- 3 °C

Знаки опасности

Критическое давление

4,28 МПа