|
|
|
ПРИМЕНЕНИЕ
Трихлорсилан используется в производстве поликристаллического, полупроводникового кремния, эпитаксиальных кремниевых структур, а также кремнийорганических соединений.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
У нас можно купить трихлорсилан следующего качества
|
Трихлорсилан
|
> 99,995%
|
|
Тетрахлорид кремния
|
< 15 ppm
|
|
Дихлорсилан
|
< 15 ppm
|
|
Углеводороды С1-С4
|
< 0,1 ppm
|
|
Cu, Ni, Cr, Mn, Mg, Co, Al, Ca, Zn, Cd, Sn, Pb, Sb, Bi, Mo
|
< 1 ppb
(для каждого)
|
| Электрическое сопротивление эпитаксиальных пленок |
> 2000 Ом·см
|
ХАРАКТЕРИСТИКИ
Характеристики трихлорсилана
|
Общая характеристика
|
Бесцветная прозрачная дымящая на воздухе, горючая, коррозионная, высокотоксичная жидкость с резким удушливым запахом. Бурно взаимодействует с водой с выделением водорода и хлористого водорода.
|
|
Молекулярная масса
|
135.45 г/моль
|
CAS №
|
10025-78-2
|
|
Давление паров при 20° C
|
0,7 бар изб.
|
№ ООН
|
UN1295
|
|
Температура плавления
|
- 126,6° C
|
КЭМ
|
|
|
Температура кипения
|
31,8° C
|
Класс опасности груза
(ДОПОГ 2015)
|
4.3
|
|
Критическая температура
|
206° C
|
Знаки опасности
|
 
 
|
|
Критическое давление
|
4,17 МПа
|
УПАКОВКА
Контейнеры из нержавеющей стали, оборудованные кранами для паровой и жидкой фазы.
Стандартные контейнеры под трихлорсилан
|
Объем контейнера, дм3
|
Максимальная загрузка трихлорсилана, кг
|
|---|
|
22,4
|
27
|
|
240
|
289
|
Назад в раздел
|
|
