Дисилицид титана (силицид титана)

Это химическое соединение титана с кремнием, с массовой долей кремния 53,98%. Имеет вид порошка серого цвета с металлическим отблеском. 

Физические свойства

Дисилицид титана имеет две модификации низкотемпературную (C49) и высокотемпературную (C54). Низкотемпературная модификация имеет ромбическую базоцентрированную решетку со следующими периодами: а = 0,362 нм, b = 1,376 нм, c = 0,360 нм. Высокотемпературная модификация имеет ромбическую гранецентрированную решетку со следующими периодами: а = 0,8279 нм, b = 0,4819 нм, c = 0,8568 нм. Данное соединение переходит из одной формы в другую при температуре 650 °C.

• Показатель изменения объема вещества при изменении температуры на 1 K равняется 12,5•10⁻⁶ 1/K.
• Удельное электрическое сопротивление 60-70 мкОм•см для первой модификации и 12-20 мкОм•см для второй.
• Модуль Юнга равен 259 ГПа.

Химические свойства

• Устойчив к воздействию, азотной, серной, соляной, щавелевой кислот.
• Не растворим в водной среде и щелочных растворах.
• Слаборастворима в царской водке.
• Хорошо растворим в плавиковой кислоте и растворах фтористого аммония.

Соответствие стандартам

Полностью соответствует ТУ 6-09-03-406-75. Содержание веществ:

Область применения

Используется в производстве интегральных схем в качестве контактов между полупроводниковым устройством и структурой, поддерживающей межсоединения.